Le profilomètre optique Hyperion que propose OPM-Messtechnik
est doté de plusieurs têtes de mesure interchangeables : un capteur laser autofocus, un capteur confocal et un capteur en lumière blanche. Il est destiné à une large variété d'applications (mesures 2D ou 3D dans le domaine de l'électronique, de la micromécanique, des nanotechnologies, etc.)
· Gamme de mesure verticale : de 300 µm à 1,5 mm (suivant le capteur utilisé)
· Résolution : de 10 à 25 nm
· Répétabilité : 0,5 µm
· Déplacement latéral (en X, Y) motorisé
· Déplacement axial manuel (motorisation en option)
· Masse maximale de la pièce contrôlée : 15 kg
· Vitesse de déplacement des axes : jusqu'à 30 mm/s
· Logiciel d'analyse OPM Inspector