Pfeiffer Vacuum introduit les systèmes High Pressure Analyzer (HPA) 220 et Sputter Process Monitor (SPM) 220 pour l’analyse de gaz via son spectromètre de masse PrismaPlus et la station de turbopompe HiPace compressant à sec.
# Etendue de mesure : 1-100 et 1-200 amu, plus 1-300 amu (HPA 220 uniquement)
# Source d’ions à filament de tungstène ou d’iridium yttrié
# Logiciel Quadera entièrement redéveloppé : interface utilisateur clairement structurée, documentation simple des résultats de mesure…
# SPM 220 : source ionique spéciale permettant une connexion directe entre l’analyseur et la chambre
# Plage de pression : 10-2 à 10 mbar via un système à orifice supplémentaire
# Système d’entrée de gaz : aucun ou vanne de sécurité SVV 040 électropneumatique
# HPA 220 : système HPI 040 doté de 3 vannes d’entrée DN40, double vanne (manuelles ou électropneumatiques) ou vanne de dosage UDV 040
# Plage de pression : vide à 50 mbar