La société californienne  KLA-Tencor a annoncé son intention de prendre le contrôle de Therma-Wave (également basée en californie), afin de renforcer son offre d’instruments de mesure destinés aux unités de production de semi-conducteurs.
Créée en 1982, Therma-Wave a bâti sa reputation sur les instruments de contrôle de l’implantation ionique en cours de process. Par la suite, elle a élargi son offre avec des instruments de mesure d’épaisseur de couches transparentes et semi-transparentes ainsi que des dimensions des géométries des circuits intégrés. (Mars 2007)