Aerotech introduit les platines XY sur coussin d'air PlanarHD. Leur conception, basée sur un pont roulant en H, améliore la précision et la vitesse du déplacement. Caractéristiques du modèle de course 500 x 500 mm :
· Vitesse de balayage de 2 m/s et accélération jusqu'à 5 g
· Résolution du positionnement : jusqu'à 0,25 nm
· Répétabilité : 50 nm
· Précision : jusqu'à ± 300 nm
· Conception "en H" basée sur doubles coussins d'air, avec deux moteurs linéaires et deux codeurs
· Course prolongée jusqu'à 1,2 m (en option)
· Système de commande A3200 sur PC (avec fonction de création des trajectoires en minimisant les erreurs géométriques)
· Applications typiques : traitement de semi-conducteurs, technologies MEMS, etc.