# Angle d’inclinaison maximal : ±30°
# Etendue de mesure : 3 mm
# Linéarité maximale : 0,75 µm
# Résolution maximale : 20 nm
# Ouverture numérique : 0,43
# Écartement de base : 28 mm
# Fréquence de mesure : jusqu'à 70 kHz
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