Le 20/03/2016 à 16:03  

Ellipsomètre ultra rapide

# Etendue de mesure : 0 à 500 mm (épaisseur du dépôt), 0 à 0,5 mm3 (volume) # Répétabilité annoncée inférieure à 2 nm…

Le 02/09/2014 à 15:55  

Ellipsomètre à modulation de phase

# Fonctionnement possible dans deux modes : sous azote ou sous vide primaire (5x10-2 mbar) # Consommation d'azote d’environ 6 l/min # Chargement…

Le 02/09/2014 à 15:55  

Ellipsomètre à modulation de phase

# Fonctionnement possible dans deux modes : sous azote ou sous vide primaire (5x10-2 mbar) # Consommation d'azote d’environ 6 l/min # Chargement…