# Plage de la course : 100 µm en boucle fermée, 120 µm en boucle ouverte (courses spéciales sur demande)
# Résolution : 0,30 nm (boucle fermée), 0,15 nm (boucle ouverte)
# Ouverture centrale : jusqu’à 29 mm
# Retour de position par capteurs capacitifs (mesure de la sortie du chariot de positionnement)
# Linéarité : 0,01 %
# Répétabilité bidirectionnelle : 3 nm
# Rigidité mécanique : 1,25 N/μm
# Fréquence de résonance : 500 Hz (sans charge), 240 Hz (charge de 150 g)

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