L'ellipsomètre spectroscopique SpecEL-2000-VIS de Mikropack est destiné au contrôle des couches minces (mesure de l'épaisseur, de l'indice de réfraction, etc.). Il se compose d'un spectromètre, de deux polariseurs, d'une source de lumière et d'un PC.
· Etendue de mesure (épaisseur de la couche) : de 1 nm à 5 µm
· Résolution : 0,1 nm
· Gamme spectrale : 450-900 nm
· Résolution spectrale : 4 nm
· Durée de la mesure : de 5 à 15 s
· Balayage d'une surface allant jusqu'à 150 x 150 mm (en option)
· Dimensions : 52 x 33 x 24 cm
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