La machine à mesurer atteint une précision de 45 nm sur chaque axe

Le 23/09/2009 à 11:26  

La machine à mesurer Isara 400 conçue par IBS Precision Engineering présente une précision inégalée : 45 nm sur chaque axe, malgré un volume de mesure et une charge maximale relativement importants.
Les chiffres parlent d’eux-mêmes. Une incertitude de mesure de 45 nm sur chaque axe, une charge maximale de 32,5 kg, un volume de mesure de 400x400x100 mm, et un coût proche du million d’euros… nous voilà prévenus. Avec la machine à mesurer tridimensionnelle Isara 400, IBS Precision Engineering allie haut de gamme et haute précision. Les caractéristiques de la machine, sans équivalent sur le marché, se distinguent en plusieurs points du modèle précédent. La machine Isara 1, que IBS avait développée en collaboration avec Philips, délivre en effet une précision comparable, mais elle est limitée en termes de volume de mesure (100x100x40 mm) et de charge maximale (à peine 6 kg). En proposant Isara 400, IBS s’adresse donc à un autre champ d’applications. « La machine a été conçue pour répondre aux problématiques de haute précision dans l’inspection des pièces de gros volumes », indique Gilles Gaubert, directeur commercial de la société. On songe notamment aux laboratoires nucléaires, au contrôle d’optiques de grandes dimensions, ainsi qu’à l’inspection de pièces d’étalonnages. Vu la charge maximale, la machine peut être aussi utilisée pour des contrôles par lots afin de gagner du temps.
Les pièces à mesurer sont posées sur une table en Zerodur mobile, dont la position est relevée à l’aide d’interféromètres laser. On retrouve ensuite la technologie des coussins d’air en matériau poreux d’IBS pour le déplacement des axes de mesure. La précision et la résolution (1 nm) de la machine sont en grande partie liées à cette conception mécanique, et surtout au respect du principe d’Abbe sur les trois axes (les trois lasers se recoupent toujours très précisément au centre de la touche du capteur). La machine se distingue également par un capteur de très faible force (moins de 0,3 mN) et de petit diamètre (250 µm). Ce capteur, qui a fait l’objet d’un développement spécifique, peut être aussi bien utilisé pour des applications de scanning, que pour de la mesure 3D “ponctuelle”. Il est associé à un capteur AFM et un capteur sans contact. La vitesse de mesure, quant à elle, est réglable de 0,01 à 10 mm/s. Enfin, la machine dispose bien sûr d’un certain nombre de protections spécifiques pour s’affranchir des variations thermiques, et d’un système antigravitationnel.
Compte tenu de l’investissement qu’elle représente, la machine Isara 400 est fabriquée à la demande. Elle fera l’objet d’une conférence technique lors du prochain Congrès de métrologie qui se tiendra à Paris du 22 au 25 juin.

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