Les interféromètres de Micro-Epsilon mesurent au nanomètre près

Le 25/02/2021 à 21:57  

La nouvelle gamme interferoMETER comporte 3 modèles d’interféromètres à lumière blanche destinés à la mesure de distance et d’épaisseur de matériaux dans des environnements industriels ou dans le vide, avec une résolution annoncée subnanométrique.

L’allemand Micro-Epsilon, fabricant de capteurs et de systèmes de mesure 2D/3D, complète son offre de produits avec la sortie d’une gamme d’interféromètres à lumière blanche, qui se distingue par des mesures optiques d’une résolution annoncée subnanométrique. Baptisée interferoMETER, la nouvelle famille se décline en trois modèles ciblant, selon les applications, la mesure de distance en environnement industriel, la mesure d’épaisseur de matériaux ou bien celle compatible avec le vide.

Le premier modèle, référencé IMS5400-DS, fournit des valeurs de mesure absolues et peut détecter des dénivelés ou des arêtes avec un haut niveau de fiabilité sans perte de signal. Compact et robuste, il s’intègre dans des installations industrielles à l’espace restreint.

Second dans la gamme, l’IMS5400-TH se destine à la mesure de l’épaisseur des matériaux transparents fins, y compris du verre à revêtement antireflet, grâce à la source de lumière proche infrarouge. L’opération s’effectue avec un seul capteur indépendamment de la distance par rapport à l’objet et de l’éventuel flottement de positionnement.

Le troisième, nommé IMS5600-DS, est conçu pour les mesures de distance en salle blanche et dans le vide. Un calibrage spécifique du contrôleur permet d’obtenir une résolution subnanométrique nécessaire par exemple à l’alignement de wafers .

Présentés dans des boîtiers métalliques robustes, ces interféromètres se composent d’un contrôleur, d’un capteur et d’un câble à fibre optique hautement flexible. Ils disposent d’une connectivité analogique et numérique élargie, dont Ethernet et EtherCAT, et se configurent via une interface web conviviale.

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