Table de positionnement piézoélectrique

Le 06/07/2017 à 15:55

# Plage de déplacement : 400 μm en boucle fermée, 450 μm en boucle ouverte
# Type de positionnement : point à point ou balayage
# Ouverture centrale : 29 mm de diamètre
# Linéarité : 0,01 %
# Résolution inférieure à 1 nm
# Répétabilité bidirectionnelle : 4 nm
# Erreurs de rectitude inférieure à 40 nm sur l'ensemble de la plage de déplacement

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