Le système analytique détecte les traces d'impuretés dans les gaz UHP

Le 01/05/2014 à 17:00  
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D ans le domaine de la mesure des impuretés de gaz d'ultra-haute pureté ( Ultra High Purity ou UHP), les préoccupations des utilisateurs sont à la fois la recherche de performances plus élevées, de coûts d'exploitation plus faibles et, plus important encore, de sécurité. Cela se traduit par des analyseurs de gaz fournissant des mesures plus sensibles, plus précises et plus fiables ainsi que par le besoin d'un seul fournisseur.

Destiné en premier lieu à l'industrie des semi-conducteurs, l'analyseur de gaz UHP Servopro NanoChrome de Servomex peut également intéresser d'autres secteurs industriels (fabrication de Led, véhicules hybrides, laboratoires de recherche, industries émergentes).

Fort de ce constat, le fabricant Servomex (groupe britannique Spectris) a annoncé l'introduction du Servopro NanoChrome qui est présenté comme une «révolution». « Le nouvel analyseur repose sur une plate-forme reprenant la technologie propriétaire de détection des émissions plasma [ Plasma Emission Detector ou PED, NDLR], déjà mise en œuvre dans le modèle Servopro Chroma pour les impuretés dans les gaz purs,mais une technologie améliorée », explique Dawel Zhang, directeur marketing produits de Servomex.

Pour mémoire, la technologie de PED concurrence directement les capteurs à détection par ionisation de flamme ( Flame Ionisation Detector ou FID) et à détection des gaz par réduction ( Reduction Gas Detection ou RGD). Les capteurs FID traditionnels, par exemple, bien que réputés pour leur sensibilité, leur sélec-tivité et leur linéarité, ne proposent qu'une détection limitée entre 10 et 20ppb équivalent méthane. Cela en raison de l'utilisation obligatoire d'un gaz vecteur, d'un carburant et de l'air qui rend le détecteur plus sensible au bruit issu de la contamination de faible niveau par les hydrocarbures contenus dans le mélange des ceux-ci et ionisés par le capteur.

« La technologie de PED mise en œuvre dans le Servopro Chrome pour les traces de N2 et d'argon a été améliorée (longueur d'onde de mesure étendue) pour inclure des mesures de H 2 ,deméthane (CH 4 ),de CO et CO2 ainsi qu'une mesure directe d'hydrocarbure sans recourir à un méthani-seur. Par ailleurs, la sensibilité, la sélectivité et la fiabilité analytique ont été renforcées grâce à de nouvelles méthodologies de traitement de signal. Elles utilisent des méthodes adaptatives de filtrage chromatographique développées spécialement et des techniques de détection de pics ProPeak », précise Dawel Zhang. C'est ainsi que le Servopro NanoChrome est capable de détecter d'une manière stable des concentrations entre 0 et 250ppb, avec un niveau de détection le plus faible de 300 ou 500 ppt, selon l'impureté. Parmi les autres spécifications, la répétabilité est de ±2% de la valeur lue, une justesse meilleure que ± 150 ou ±250ppt (±10% de la valeur lue), un débit d'échantillon de 50 à 350ml/min et de gaz vecteur de 90 à 500 ml/min, la présence d'un système de dilution interne pour notamment l'étalonnage à 250 ppb ou 5ppm…

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